Структура лекции
- Введение
- Схема получения карт EBSD
- Особенности получение карт EBSD
- Применение метода EBSD для анализа зеренной структуры
- Применение метода EBSD при поиске фаз
Введение
Одной из областей применений растровой электронной микроскопии является дифракционный метод исследования, заключающий в автоматизированном систематическом пошаговом измерении кристаллографической ориентировки микрообластей плоского полированного образца с последующим построением карт пространственного распределения ориентировок.
Метод дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD ) позволяет определять углы разориентировки между зернами, представлять данные в виде массива углов и размеров, прямых и обратных полюсных фигур и множества других видов полезной информации, а также выявить границы и субграницы зерен.
Метод EBSD (известный также как дифракция Кикучи ) был впервые разработан Аламом с сотр. в 1954 г., когда он получил несколько дифракционных картин и назвал их "широкоугольные отраженные картины Кикучи", в знак признания соответствующего явления описанного Кикучи в 1920-е годы. Однако эти исследования не находили применения до 1970-х, пока Венабл с соавторами не использовал EBSD в металлургической микрокристаллографии, открыв путь для более широкого применения метода в материаловедении. Значительные технические достижения последних 10 лет сделали EBSD идеальным методом быстрого анализа микроструктур кристаллических материалов.
