Кроме того, при использовании приставки EBSD необходима калибровка центра фосфоресцентного экрана и точки падения пучка на образец (проводится посредством интерполяции между двумя крайними рабочими расстояниями - рисунок 107).
а) б)
Рисунок 107 – Калибровка центра фосфоресцентного экрана и
рабочего расстояния
(а – положения точек падения пучка на образец и б – соответствующие положения
центра фосфоресцентного экрана)
Оптимальная область анализа и оптимальный шаг сканирования
Оптимальная область анализа должна включать в себя статистически значимое количество отдельных зерен/субзерен. Шаг сканирования рекомендуется выбирать из интервала в 5-10 раз меньше их средней величины. Целесообразно проведение нескольких сканирований структуры с различным шагом. При текстурном сканировании для охвата большей площади берут больший шаг.
Ошибки индицирования и нулевые решения
Вследствие низкого качества поверхности образца, большой микродеформации решетки линии Кикучи размываются и система становится неспособной определить кристаллографическую ориентировку (возникают нулевые решения). Как правило, индицирование может нарушаться и на границах зерен, где происходит наложение нескольких Кикучи-картин, соответствующих соседним зернам. В этом случае рекомендуется проводить очистку от сомнительных точек перед проведением количественного анализа результатов метода.
