Страница 7 из 12
Как выбрать оптимальный размер пятна? Рекомендации по выбору размера пятна SS – относительного размера пучка после конденсорной линзы - приведены на рисунке 80.
Рисунок 80 – Рекомендации по выбору размера пятна
Общая зависимость говорит о том, что с ростом тока пучка растет и его диаметр (рисунок 81).
Рисунок 81 – Зависимость Диаметра пучка от Тока пучка
