Выбор величины размера пятна SpotSize
Когда сила конденсорной линзы велика (велики токи в ее обмотках), величина SpotSize минимальна (электроны фокусируются близко к линзе), небольшая часть исходного пучка проходит через апертуру объективной линзы, тем самым малая часть исходных электронов достигает образца. Однако, в силу малой величины апертурного угла (от места фокусировки до диафрагмы далеко) на образце малый размер зонда и улучшенное пространственное разрешение. Этот вариант используется в случае необходимости получения качественных изображений при больших увеличениях.
Когда сила конденсорной линзы слаба, величина SpotSize максимальна (электроны фокусируются дальше от линзы), большая часть исходного пучка проходит через апертуру объективной линзы, большая часть исходных электронов достигает образца. Однако, в силу большой величины апертурного угла (от места фокусировки до диафрагмы близко) на образце большой размер зонда и пониженное пространственное разрешение. Этот вариант используется в случае необходимости получения высоких токов зонда, например, при спектральном анализе.
Данные ситуации отображены на рисунок 79.
Рисунок 79 – Влияние силы конденсорной линзы на размер зонда на поверхности образца и величину проходящего через него тока
