Выбор типа сигналов
Выбор типа сигналов (рисунок 72) зависит от задачи и объекта исследования. Так топографию поверхности следует изучать в режиме вторичных электронов, а контраст в многофазном материале – в режиме отраженных. Исследование локального химического состава приводит к использованию сигнала рентгеновских фотонов. Возможно одновременное наблюдение в различных сигналах при комплексных исследованиях. Необходимо учитывать ограничения по локальности каждого метода для данных условий наблюдения (например, учитывать размер области генерации рентгеновского излучения, наклон образца, шероховатость поверхности и т. д.).
Рисунок 72 – Изображение многофазного объекта в различных типах сигналов (а – в отраженных электронах, б – отраженные электроны топографический контраст, в – отраженные электроны композиционный контраст, д – изображение во вторичных электронах)
