Страница 8 из 12
Чем меньше диаметр пучка, тем выше пространственное разрешение и увеличение можно получить. При этом сглаженность (отношение сигнал/шум) изображения зависит от тока в пучке (рисунок 82).
Рисунок 82 – Влияние тока пучка на резкость/сглаженность изображения (композиционный материал)
Когда уменьшается диаметр зонда, падает и ток в зонде (рисунок 83).
Рисунок 83– Характеристики изображения при изменении тока зонда
