Лекция 2. Взаимодействие электронного пучка с образцом
Страница 4 из 13
Так как энергия вторичных электронов невелика, их выход возможен только с приповерхностных слоев материала (менее 10 нм).
Принимая во внимание, что вторичные электроны генерируются приповерхностными слоями, они очень чувствительны к состоянию поверхности. Минимальные изменения рельефа отражаются на количестве собираемых электронов. Таким образом, этот тип электронов несет в себе информацию о рельефе образца (рисунок 20).
Примеры электронных изображений в сигнале вторичных электронов приведены на рисунке 21.
Рисунок 18 – Электронные изображения в сигнале отраженных электронов (а – структура металлического окатыша, б – частицы TiB в матрице TiAlNb)
