Лекция 2. Взаимодействие электронного пучка с образцом
Страница 2 из 13
Рисунок 15 – Области генерации различных типов сигналов и их пространственные размеры
2.2 ОБЛАСТЬ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРОНОВ: ВЛИЯНИЕ АТОМНОГО НОМЕРА, ЗАВИСИМОСТЬ ОТ ЭНЕРГИИ ПУЧКА.
Области генерации излучений зависят, как правило, от величины ускоряющего напряжения и атомных номеров элементов образца (рисунок 16) и других параметров.
Как видно из рисунка 16, для образцов, содержащих легкие элементы, область взаимодействия имеет грушевидную форму – электроны глубоко проникают внутрь образца, для тяжелых – чашевидную. Размер области взаимодействия увеличивается с ростом ускоряющего напряжения и может значительно превышать диаметр зонда электронов на поверхности образца. Форму области взаимодействия можно моделировать различными цифровыми моделями, например, методиками Монте-Карло.
Рисунок 16 – Форма областей взаимодействия падающих электронов с образцов в зависимости от ускоряющего напряжения и атомного номера
