Лекция 2. Взаимодействие электронного пучка с образцом
Страница 8 из 13
2.6 КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ.
Явление катодолюминесценции – это испускание электромагнитного излучения в ультрафиолетовой, видимой или инфракрасной области под действием электронной бомбардировки.
Излучение регистрируется фотоумножителем и может быть разложено в спектр с помощью оптического спектрометра до поступления на фотоумножитель. Сбор светового излучения осуществляется установкой эллиптического зеркала, в одном из фокусов которого находится образец.
Входное отверстие позволяется пучку попадать на образец. Свет, испускаемый образцом, отражается зеркалом во второй фокус, где устанавливается световод для пропускания света к фотоумножителю (рисунок 23).
Рисунок 23 – Измерение катодолюминесценции в РЭМ
