Накопление спектра (примерно 100 сек.)
Быстродействующий алгоритм автоматически определяет пики в спектре и элементы в образце. По мере набора спектра результаты автоматической идентификации непрерывно обновляются и уточняются.
Проверка найденных элементов с возможностью уточнения автоматически идентифицированных элементов. При этом используются маркеры элементов для уточнения позиции и высоты спектральных пиков. Путем сравнения формы реального спектра с наложением реконструированного спектра контролируется идентификация элементов в случае сложных перекрытий спектральных линий. Так реализуется этап качественного анализа.
Количественный анализ спектра на основе идентифицированных на предыдущем этапе элементов ведется посредством измерения интенсивностей выбранных линий спектра и линий эталонов.
Формирование отчета об исследовании
Пробоподготовка для РСМА.
Исследованию, как правило, подвергаются плоские полированные образцы. Осторожно нужно относится к внедрению полировального абразива в исследуемый материал, приводящий, например, к «аномальным» включениям. Особенно это касается образцов с трещинами и пористых образцов.
Травление может изменять топографию и химию поверхности. Исследование наклонных образцов требует правильного указания значения угла наклона. Для исследования состава малопроводимых образцов используют, как правило, напыление тонкого слоя углерода (проводящего материала).
Локальный анализ химического состава: в точке.
