Поправка на атомный номер.
Так называемый эффект атомного номера обусловлен двумя явлениями: отражением и торможением электронов, причем оба этих явления зависят от среднего атомного номера мишени. Таким образом, если имеется различие между средними атомными номерами образца и эталона, надо вводить поправку на атомный номер. Если ее не вводить, то при анализе тяжелых элементов в матрице из легких получают слишком заниженные значения концентрации, а при анализе легких в матрице тяжелых – слишком завышенные значения концентрации.
Поправка на поглощение
Так как рентгеновское излучение, генерируемое электронным пучком, возникает на некоторой отличной от нуля глубине в образце, на пути к детектору оно должно пройти определенный путь в образце. На этом пути часть рентгеновского излучения претерпевает поглощение из-за взаимодействия с атомами различных элементов в образце. Поэтому интенсивность рентгеновского излучения, достигающего детектора, уменьшается по величине.
Поправка на флуоресценцию
Если в образце, наряду с элементом i , имеются другие элементы, чья длина волны характеристического излучения λj >λкр i , то интенсивность излучения i - го элемента будет обусловлена не только возбуждением электронами «зонда», но и флуоресцентным возбуждением излучения λj другими элементами.
