Количественный анализ проводится по интенсивности излучения наиболее сильной (аналитической) линии K -, L -, M - серий характеристического излучения элемента в сплаве. При этом считается, что интенсивность линий характеристического излучения элемента в сплаве пропорциональна количеству атомов этого элемента в объеме сплава, облучаемого электронами, и атомному номеру элементов.
Количество атомов элемента в объеме сплава, облучаемого электронами, пропорционально объему образца, в котором возбуждается рентгеновское излучение, плотности сплава, массовой доле элемента в сплаве и обратно пропорционально атомной массе элемента.
Измерение абсолютной интенсивности, выраженной в электронных
единицах, представляет значительные экспериментальные трудности, поэтому
измеряют отношение интенсивностей характеристического излучения j -ого элемента в исследуемом
образце и эталоне, полученных в
одинаковых условиях k j =
Отношение интенсивностей не точно равно отношению концентраций исследуемого элемента в образце и эталоне в силу следующих причин:
- различие в поглощении электронов материалом сплава и чистым компонентом,
- различие в поглощении возбужденного излучения элемента в сплаве и чистом компоненте,
- флуоресцентное возбуждение характеристическим излучением других элементов сплава и тормозным рентгеновским излучением.
Поэтому при расчете концентрации вводятся поправки: на поглощение, на атомный номер и флуоресценцию. Часто применяется метод «трех поправок» (ZAF -поправок).
Расчет массовой доли доля j -того элемента wj ведется по формуле:
wj = (ZAF )*kj ,
где Z , A и F – поправки (их величина может быть больше или меньше 1) на, соответственно, различие в рассеянии и торможении электронов в образце и эталоне, различие коэффициента поглощения излучения анализируемой линии в образце и эталоне, флуоресцентное возбуждение анализируемой линии (всегда больше 1).
