Лекция 3. Структура растрового электронного микроскопа (РЭМ)
Диафрагма объективной линзы ограничивает диаметр пучка и тем самым позволяет контролировать сферическую аберрацию. Для высокого пространственного разрешения выбирается маленькая апертура, однако, при больше апертуре получается больший диаметр пучка и больший ток. Она расположена перед сканирующими катушками.
Основное требование к апертурам – чистота. Частички грязи заряжаются и приводят к астигматизму.
Типичный разброс по размерам отверстий апертур объективной линзы 10-100 мкм.
Назначение диафрагмы каждого размера приведено в таблице 2.
Таблица 2 – Размеры диафрагм объективной линзы и их назначение
|
Тип |
Диаметр апертуры, мкм |
Назначение |
|
3 |
100 |
При использовании большого тока пучка, исследование химического состава с помощью ВДС |
|
2 |
30 |
Наблюдение, исследование химического состава с помощью ЭДС |
|
1 |
20 |
Работа при высоких увеличениях |
|
0 |
Нет |
Обслуживание микроскопа |
