Лекция 3. Структура растрового электронного микроскопа (РЭМ)
3.4 АБЕРРАЦИИ: ХРОМАТИЧЕСКИЕ, СФЕРИЧЕСКИЕ, АСТИГМАТИЗМ. СТИГМАТОРЫ.
Оптические системы неидеальны, поэтому в них возникают ошибки или погрешности изображения, называемые аберрациями. Они являются главными «врагами» линз.
Сферическая аберрация связана с тем, что внешняя часть широкого пучка излучения фокусируется сильнее, чем осевая (ближе к линзе). Вызвана радиальной неоднородностью магнитного поля линзы. Она уменьшается с уменьшением фокального расстояния объективной линзы и применением апертурной диафрагмы объективной линзы меньшего диаметра (рисунок 39).
Хроматическая аберрация связана с разбросом электронов по энергиям вследствие нестабильности ускоряющего напряжения и тепловой энергии изучаемых источником электронов. Достаточно велика при работе с низкими ускоряющими напряжениями (рисунок 40). При увеличении ускоряющего напряжения, длина волны электронов уменьшается, электроны фокусируются раньше.
