Для размещения частиц размером 10 мкм и более рекомендуется использовать углеродную пасту либо двусторонний скотч. Если частицы из материала - диэлектрика, то необходимо обеспечить полное напыление проводящим покрытием для уменьшения зарядки. В случае необходимости можно наклонять подставку с образцами во время напыления.
Рисунок – Крепление частиц для исследования
Нанесение покрытий
Многие образцы являются диэлектриками и не проводят электрический ток, а для отвода с поверхности электрического заряда, образующегося при электронной бомбардировке, их требуется напылять электропроводным слоем, использовать низкие рабочие напряжения, либо режим работы в низком вакууме.
Наиболее подходящий элемент для напыления – углерод, имеющий минимальный рентгеновский спектр, причем с низкой энергией.
Но он не идеален вследствие низкого выхода вторичных электронов. Поэтому предпочтительнее использовать металл с высоким выходом вторичных электронов, т.е. золото или золото-палладиевый сплав (с тонкой зернистой структурой). Однако такое напыление не очень пригодно для рентгеноспектрального анализа в отраженных электронах.
