Лабораторная работа № 2. Знакомство с пользовательским интерфейсом растрового электронного микроскопа
Страница 11 из 15
5.4 Выбор оптимального размера пятна SS (рисунок 11)
SpotSize (SS)- относительный размер пучка после конденсорной линзы.
Общая зависимость говорит о том, что с ростом тока зонда растет и диаметр зонда (рис 12).
Рисунок 10 – Влияние величины рабочего расстояния (WD) на качество изображения
Рисунок 11 – Выбор величины SS
